一种用于晶硅的清洁机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922287888.2
IPC分类号：B08B3/02;B08B3/08;B08B1/02;B08B7/00;B08B13/00;H05F3/06
申请日期：
2019-12-18
申请人：
青岛高测科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于晶硅的清洁机构
申请号	CN201922287888.2	申请日期	2019-12-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/02 用喷射力来清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;1;/;0;2;;;B;0;8;B;7;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;5;F;3;/;0;6查看分类表>
申请人	青岛高测科技股份有限公司	申请人地址	山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛高测科技股份有限公司	当前权利人	青岛高测科技股份有限公司
发明人	王鹏;朱佰庆;李璐;仇健;张毅
代理机构	北京卓岚智财知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	郭智

摘要

本实用新型涉及一种用于晶硅的清洁机构，属于晶硅加工设备领域，包括相对设置的两挡板，两挡板之间沿着晶硅的输送方向上依次设有喷雾清洗装置、擦拭装置、粘附装置和去静电装置，晶硅经过喷雾清洗装置喷洒清洁剂，再经擦拭装置进行擦拭，最后经去静电装置对晶硅进行表面去离子操作达到清洁晶硅底面的效果，且在挡板上设置安装孔，便于更换所述粘附装置，快换组件便于下滚筒的快速安装和更换，设计巧妙、结构紧凑，清洁效果良好、清洁效率高，便于晶硅底面清洁的自动化操作。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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