硅单晶炉炉盖观察窗

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120118912.0
IPC分类号：C30B35/00;C30B15/26
申请日期：
2011-04-21
申请人：
无锡市惠德晶体控制设备有限公司

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著录项信息

专利名称	硅单晶炉炉盖观察窗
申请号	CN201120118912.0	申请日期	2011-04-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;1;5;/;2;6查看分类表>
申请人	无锡市惠德晶体控制设备有限公司	申请人地址	江苏省无锡市惠山经济开发区堰桥配套区堰畅路11-1号(惠德晶体) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡市惠德晶体控制设备有限公司	当前权利人	无锡市惠德晶体控制设备有限公司
发明人	惠梦君
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	刘宗杰

摘要

本实用新型公开一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗和第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上，所述第一观察窗的窗口处设置有2个摄像头，摄像头沿炉盖的径向线并列设置，上述硅单晶炉炉盖观察窗的第一、第二观察窗均设置于炉盖的水平方向上，第一观察窗窗口处沿炉盖的径向线并列设置有2个摄像头，使第一观察窗对摄像头的俯角范围很宽，因而可以适用于不同的工艺环境，同时摄像机的安装调试也很方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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