一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202110832321.8
IPC分类号：C07D277/72;B01F13/10;B01F15/00;B01F15/02;B01J19/00;B01J19/18
申请日期：
2021-07-22
申请人：
镌致实业（重庆）有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备
申请号	CN202110832321.8	申请日期	2021-07-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-08	公开/公告号	CN113480494A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07D277/72 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07D 杂环化合物（高分子化合物入C08）〔2〕 C07D277/00 杂环化合物，含有1，3-噻唑或氢化1，3-噻唑环〔2〕 C07D277/60 和碳环或环系稠合〔2〕 C07D277/62 苯并噻唑〔2〕 C07D277/68 有杂原子，或有3个键连杂原子，其中最多有1个键连卤原子的碳原子，例如酯基或腈基，直接连在位置2上〔2〕 C07D277/70 硫原子〔2〕 C07D277/72 2-巯基苯并噻唑〔2〕	IPC分类号	C;0;7;D;2;7;7;/;7;2;;;B;0;1;F;1;3;/;1;0;;;B;0;1;F;1;5;/;0;0;;;B;0;1;F;1;5;/;0;2;;;B;0;1;J;1;9;/;0;0;;;B;0;1;J;1;9;/;1;8查看分类表>
申请人	镌致实业（重庆）有限公司	申请人地址	重庆市潼南区工业园区一期标准厂房服务大楼2楼217 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	镌致实业（重庆）有限公司	当前权利人	镌致实业（重庆）有限公司
发明人	万小宁
代理机构	重庆弘毅智行专利代理事务所（普通合伙）	代理人	张庆淡

摘要

本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种闪蚀药水护岸剂、生产方法及设备，底壳与釜体转动连接，进气阀与釜体连通，进气阀和氮气供应装置连接通入氮气进行保护；进料壳的第一进料口放入甲苯，第二进料口放入需要萃取的2‑巯基苯骈噻唑原料，混合壳与进料壳连通，进入的甲苯和原料进入混合壳中，加压泵与混合壳连通，可以向混合壳中冲入氮气以提高气压，喷嘴与混合壳连通喷出混合后的液体，第二单向阀设置在混合壳和进料壳连接处，过滤网与底壳可拆卸连接，第一出料管穿过底壳，原料通过第一出料管排出，通过过滤网的甲苯物质通过第二出料管排出，使得加工过程在封闭环境中完成，避免有害物质外泄。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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