一种DSOI应变计及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510395248.7
IPC分类号：G01B7/16
申请日期：
2015-07-03
申请人：
新会康宇测控仪器仪表工程有限公司;上海旦宇传感器科技有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种DSOI应变计及其制作方法
申请号	CN201510395248.7	申请日期	2015-07-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-11-25	公开/公告号	CN105091730A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/16 用于计量固体的变形，例如电阻应变仪	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;1;6查看分类表>
申请人	新会康宇测控仪器仪表工程有限公司;上海旦宇传感器科技有限公司	申请人地址	广东省江门市新会区会城西门路圭峰高科技工业村主车间变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东和宇传感器有限公司,上海旦宇传感器科技有限公司	当前权利人	广东和宇传感器有限公司,上海旦宇传感器科技有限公司
发明人	沈绍群;罗小勇;梁栋汉
代理机构	广州嘉权专利商标事务所有限公司	代理人	冯剑明

摘要

本发明公开了一种DSOI应变计及其制作方法，包括应变计，应变计包括衬底层和器件薄膜层，所述器件薄膜层设于衬底层上方且两者之间设有绝缘薄膜层隔离，器件薄膜层包括至少一个电阻敏感栅，每个电阻敏感栅由至少两条电阻条串接而成，衬底层底部设有与其相接的绝缘膜基底。该结构减少了电泄漏，提高了传感器的工作温度范围，同时衬底层底部的绝缘膜基底把整个应变计连成一片，既保证了电阻敏感栅中电阻条的相对位置不发生变化，减小全桥电路的失调电压，又防止了玻璃胶中的有害杂质直接与衬底层、弹性膜接触，提高了应变计与弹性膜之间的绝缘耐压性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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