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真空系统测漏装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721805837.9
  • IPC分类号:G01M3/20
  • 申请日期:
    2017-12-21
  • 申请人:
    君泰创新(北京)科技有限公司
著录项信息
专利名称真空系统测漏装置
申请号CN201721805837.9申请日期2017-12-21
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M3/20IPC分类号G;0;1;M;3;/;2;0查看分类表>
申请人君泰创新(北京)科技有限公司申请人地址
北京市通州区中关村科技园区通州园金桥科技产业基地环科中路17号26幢1至3层102-LQ307 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德运创鑫(北京)科技有限公司当前权利人德运创鑫(北京)科技有限公司
发明人雷红均
代理机构北京维澳专利代理有限公司代理人周放;张春雨
摘要
本实用新型公开了一种真空系统测漏装置,包括真空泵、控制阀、检测仪和封堵板;其中,真空泵的抽气口与待测真空腔室相连通,真空泵上开设有连接口;控制阀上设置有进气口和出气口,进气口与连接口相连;封堵板封堵在出气口上。检测待测真空腔室是否泄漏时,将封堵板从控制阀的出气口取出,并将检测仪连接在该出气口上,然后打开控制阀,以使控制阀的进气口和出气口相通,从而便于检测仪检测真空腔室的泄漏状况。与现有技术相比,检测真空腔室的泄漏情况时,仅需简单操作控制阀的开关即可,不必频繁的开关真空泵,简化了操作过程,缩短了检测所需时间,提高了检测结果的精确性。

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