气体传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201710075991.3
IPC分类号：G01N27/12
申请日期：
2017-02-13
申请人：
华邦电子股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	气体传感器
申请号	CN201710075991.3	申请日期	2017-02-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-08-21	公开/公告号	CN108426921A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/12 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;2查看分类表>
申请人	华邦电子股份有限公司	申请人地址	中国台湾台中市大雅区科雅一路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华邦电子股份有限公司	当前权利人	华邦电子股份有限公司
发明人	蔡明志;何羽轩
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	马雯雯;臧建明

摘要

本发明提供一种气体传感器包括第一衬底、至少一第一电极、传感结构、至少一第二电极以及第二衬底。至少一第一电极位于第一衬底上。传感结构位于至少一第一电极与第一衬底上。传感结构包括第一半导体层及第二半导体层，其中第一半导体层具有第一导电型，覆盖第一衬底与至少一第一电极上；第二半导体层具有第二导电型，位于第一半导体层上。至少一第二电极覆盖传感结构。第二衬底覆盖至少一第二电极与传感结构。本发明的气体传感器具有量测多种界面/接面的功能，以提升气体传感器的选择性与灵敏度。

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