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高度自动补偿稳定测量装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110126916.1
  • IPC分类号:H01L21/66;H01L21/677;H01L21/687
  • 申请日期:
    2021-01-29
  • 申请人:
    常州铭赛机器人科技股份有限公司;铭赛机器人科技(东莞)有限公司
著录项信息
专利名称高度自动补偿稳定测量装置
申请号CN202110126916.1申请日期2021-01-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-08公开/公告号CN112928039A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人常州铭赛机器人科技股份有限公司;铭赛机器人科技(东莞)有限公司申请人地址
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州铭赛机器人科技股份有限公司,铭赛机器人科技(东莞)有限公司当前权利人常州铭赛机器人科技股份有限公司,铭赛机器人科技(东莞)有限公司
发明人陈鹏;查进;阮开沧;曲东升;李长峰
代理机构常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)代理人赵旭
摘要
本发明公开了一种高度自动补偿稳定测量装置,包括:工件输送装置,工件输送装置上承载有工件;三维运动平台,三维运动平台设于工件输送装置的上方,三维运动平台上设有高度测量装置和视觉识别装置,高度测量装置和视觉识别装置在三维运动平台的驱动下在xy平面内活动;顶升机构,顶升机构设于工件的下方,顶升机构的一部分可沿z轴活动,以将工件顶起。本发明结构简单,通过将高度测量装置和视觉识别装置设置为在xy平面内活动,避免了高度方向的测量误差,同时利用顶升机构调节将工件顶起的高度,实现了高度自动补偿,检测与调试动作分离,相互之间不干扰,检测精度和加工效果得到提高。

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