一种半导体质量检测装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202111197547.1
IPC分类号：G01N21/95;G01R1/04;G01R31/26
申请日期：
2021-10-14
申请人：
深圳市赛元微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种半导体质量检测装置及方法
申请号	CN202111197547.1	申请日期	2021-10-14
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-12	公开/公告号	CN113640314A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;R;1;/;0;4;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	深圳市赛元微电子有限公司	申请人地址	广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道8号中国地质大学产学研基地中地大楼B610 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市赛元微电子有限公司	当前权利人	深圳市赛元微电子有限公司
发明人	张文臣
代理机构	北京专赢专利代理有限公司	代理人	陈进

摘要

本发明适用于半导体生产相关领域，提供了一种半导体质量检测装置及方法，所述装置包括上料带、转移机构、视觉检测设备和性能检测机构。上料带将半导体元器件传送至转移机构上，视觉检测设备对半导体元器件的外观进行检测之后，转移机构继续将半导体元器件传送至性能检测机构所在的位置，性能检测机构对半导体元器件的通电性能进行检测，经过两次质检，质检出外观不合格或者性能不合格的产品，将不合格件和合格件分拣到不同的盛放容器中。该装置能够连续自主的对抽检的样品进行质检，质检效率高，可以在与人工质检时间相同的情况下质检更多的样品，使得抽检数量与整批产品数量相匹配，达到统计学抽样调查的基准。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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