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挥发性金属β－酮亚胺盐配合物

发明专利无效专利

申请号：
CN200710169694.1
IPC分类号：C07F1/08;C07F1/10;C07F1/12;C07F15/06;C07F15/00;C07F15/04;C07F5/00
申请日期：
2005-12-30
申请人：
气体产品与化学公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	挥发性金属β－酮亚胺盐配合物
申请号	CN200710169694.1	申请日期	2005-12-30
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-05-28	公开/公告号	CN101186615
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07F1/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07F 含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物（含金属的卟啉入C07D 487/22；高分子化合物入C08） C07F1/00 含周期表第1或11族元素的化合物 C07F1/08 铜化合物	IPC分类号	C;0;7;F;1;/;0;8;;;C;0;7;F;1;/;1;0;;;C;0;7;F;1;/;1;2;;;C;0;7;F;1;5;/;0;6;;;C;0;7;F;1;5;/;0;0;;;C;0;7;F;1;5;/;0;4;;;C;0;7;F;5;/;0;0查看分类表>
申请人	气体产品与化学公司	申请人地址	美国宾夕法尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	气体产品与化学公司	当前权利人	气体产品与化学公司
发明人	J·A·T·诺曼
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	韦欣华

摘要

本发明涉及挥发性金属β－酮亚胺盐配合物。本文描述了含有铜、银、金、钴、钌、铑、铂、钯、镍、锇和/或铟的金属配合物，其制备及使用方法。在某些实施方案中，本文所述的金属配合物可以用作在基材上沉积金属或含金属的膜的前体，例如，通过原子层沉积或化学气相沉积方法沉积。

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