一种有机发光显示器用掩模板开口的制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410501856.7
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24
申请日期：
2014-09-27
申请人：
昆山允升吉光电科技有限公司

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专利名称	一种有机发光显示器用掩模板开口的制作方法
申请号	CN201410501856.7	申请日期	2014-09-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-01-21	公开/公告号	CN104294215A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人	昆山允升吉光电科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山允升吉光电科技有限公司	当前权利人	昆山允升吉光电科技有限公司
发明人	魏志凌;杨涛;王峰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种有机发光显示器用掩模板开口的制作方法，其包括激光形成开口步骤，所述激光形成开口步骤是通过激光头发射在方向上与掩模基板所在平面呈锐角的激光束，所述激光头发射的所述激光束在所述掩模基板上按照预设的轨迹运行并在所述掩模基板上形成开口，从而形成掩模板，所述形成在掩模基板上的开口靠近所述激光头一侧的边缘围成的面积S1小于背离所述激光头一侧的边缘围成的面积S2；通过该工艺制作掩模板开口能够避免采用传统化学蚀刻制作掩模板开口所带来的环境损害问题，亦能保证掩模板在靠近沉积基板一侧的开口（小开口）边缘（边缘所围成面积为S1）具有较好的直线度，能够很好的满足有机发光显示器有机材料的蒸镀应用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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