一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320470778.X
IPC分类号：H05G2/00
申请日期：
2013-08-02
申请人：
中国科学院光电研究院

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著录项信息

专利名称	一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统
申请号	CN201320470778.X	申请日期	2013-08-02
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05G2/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05G X射线技术（用于放射诊断的仪器入A61B 6/00；X射线治疗入A61N；用X射线测试的入G01N；X射线照相设备入G03B；滤波器、转换屏、显微镜入G21K；X射线管入H01J 35/00；具有X射线输入的电视系统入H04N 5/321） H05G2/00 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生（X射线激光器入H01S 4/00；一般等离子体技术入H05H）〔5〕	IPC分类号	H;0;5;G;2;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院光电研究院	申请人地址	北京市海淀区海淀区邓庄南路9号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电研究院	当前权利人	中国科学院光电研究院
发明人	王宇;谢婉露;吴晓斌;张罗莎;陈进新;王魁波;罗艳
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	宋焰琴

摘要

本实用新型公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本实用新型能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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