基于半导体扩散炉用氮氧混合设备及其控制方法

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专利名称	基于半导体扩散炉用氮氧混合设备及其控制方法
申请号	CN202211284630.7	申请日期	2022-10-20
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-18	公开/公告号	CN115350640A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F35/22	IPC分类号	B;0;1;F;3;5;/;2;2;;;B;0;1;F;3;5;/;2;1;;;B;0;1;F;2;3;/;1;0查看分类表>
申请人	济宁九德半导体科技有限公司	申请人地址	山东省济宁市泗水县经济开发区泉济路与圣诚路交汇处向南50米变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	济宁九德半导体科技有限公司	当前权利人	济宁九德半导体科技有限公司
发明人	石坚;蔡亮;王涵;吴修杰;刘世伟;李杰
代理机构	济南文衡创服知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘真

摘要

本申请涉及智能控制领域，其具体地公开了一种基于半导体扩散炉用氮氧混合设备及其控制方法，其通过结合气体模拟式流量计和数字气体流量计，并利用基于深度学习的人工智能技术来构建氮氧混合控制方案，提高对气体混合进行监控和控制的精准度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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