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多晶硅块及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710531719.1
  • IPC分类号:C01B33/02;C01B33/021;C01B33/037
  • 申请日期:
    2013-08-06
  • 申请人:
    瓦克化学股份公司
著录项信息
专利名称多晶硅块及其制造方法
申请号CN201710531719.1申请日期2013-08-06
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-10-17公开/公告号CN107253722A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/02IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;0;2;;;C;0;1;B;3;3;/;0;2;1;;;C;0;1;B;3;3;/;0;3;7查看分类表>
申请人瓦克化学股份公司申请人地址
德国慕尼黑 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人瓦克化学股份公司当前权利人瓦克化学股份公司
发明人汉斯·沃赫纳;拉斯洛·法布里
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人张英;宫传芝
摘要
本发明涉及多晶硅块及其制造方法。所述多晶硅块为方形并且在其表面上具有小于200pptw的金属含量和小于50ppta的掺杂剂含量。所述制造方法包括:提供多晶硅棒,将所述多晶硅棒粉碎成方形块,以及对多晶硅块进行清洁,其中,使用具有至少一个齿辊的齿辊式粉碎机进行粉碎,所述至少一个齿辊包含W2C相,或者包含WC相以及0.1‑10%选自由以下组成的组中的金属碳化物:碳化钛、碳化铬、碳化钼、碳化钒和碳化镍,或者由具有1–25%W的钢组成。

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