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用于离子布植机的离子产生器

发明专利无效专利

申请号：
CN201711224239.7
IPC分类号：H01J37/08
申请日期：
2017-11-29
申请人：
台湾积体电路制造股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于离子布植机的离子产生器
申请号	CN201711224239.7	申请日期	2017-11-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2019-03-05	公开/公告号	CN109427521A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/08 离子源；离子枪	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;8查看分类表>
申请人	台湾积体电路制造股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	台湾积体电路制造股份有限公司	当前权利人	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人	高泰坤;林琮闵;丘仁中;李仁铎
代理机构	隆天知识产权代理有限公司	代理人	聂慧荃;郑特强

摘要

本发明提供一种用于离子布植机的离子产生器。用于离子布植机的离子产生器包含一离子源电弧室及一热电子发射器，离子源电弧室包含一电弧室壳体，热电子发射器耦接至电弧室壳体。此外，热电子发射器包含一丝极以及一阴极，且阴极具有由功函数改质的导电材料所形成的一实心顶部，上述功函数改质的导电材料包含钨以及一功函数改质金属。

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