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热敏薄膜及其制备方法和应用

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910217356.3
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2019-03-21
  • 申请人:
    淮阴工学院
著录项信息
专利名称热敏薄膜及其制备方法和应用
申请号CN201910217356.3申请日期2019-03-21
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-07-09公开/公告号CN109988997A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人淮阴工学院申请人地址
江苏省淮安市涟水县海安路10号安东大厦八楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人淮阴工学院当前权利人淮阴工学院
发明人居勇峰;杨潇;蒋青松;于银山;付成芳
代理机构淮安市科文知识产权事务所代理人廖娜
摘要
本发明涉及非制冷红外探测技术领域,公开了一种热敏薄膜及其制备方法和应用,该热敏薄膜由ZnOx材料制成,其中x的取值范围是0.7~0.95;厚度为50nm~300nm,方阻在25℃时为5KΩ/□~500KΩ/□,电阻温度系数为‑1.5%/K~‑3.5%/K。该热敏薄膜具有长期稳定的电性能,电阻与电阻温度系数与氧化钒比拟,该材料的发明为研究非制冷红外器件用热敏材料开辟了一条新的路径。

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