一种制备悬空的层状金属硫属化合物的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910529623.0
IPC分类号：B81C1/00;C23C14/14;C23C14/24
申请日期：
2019-06-19
申请人：
中国科学院物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种制备悬空的层状金属硫属化合物的方法
申请号	CN201910529623.0	申请日期	2019-06-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-22	公开/公告号	CN112110411A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;1;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三街8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	黄元;罗海兰;赵林;周兴江
代理机构	北京泛华伟业知识产权代理有限公司	代理人	郭广迅

摘要

本发明提供一种制备悬空的层状金属硫属化合物的方法，包括如下步骤：(1)在基底上制备出图案化的孔阵列；(2)在具有孔阵列的基底上形成第一金属层，然后在所述第一金属层上形成第二金属层；所述第一金属层由Ti、Cr、Zn、Al、Ni、Cu、Fe或其两种以上的合金形成，所述第二金属层由Au形成；(3)用胶带机械解理金属硫属化合物，将胶带上的金属硫属化合物贴附到步骤(2)中的所述第二金属层上，并进行热处理；(4)热处理完成后，冷却至室温，随即从具有孔阵列的基底上剥离胶带，从而在具有孔阵列的基底上制得悬空的层状金属硫属化合物。本发明的制备方法步骤少、简单易实现、制备效率高。

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