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一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110377972.9
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2011-11-12
  • 申请人:
    哈尔滨工业大学
著录项信息
专利名称一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法
申请号CN201110377972.9申请日期2011-11-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-04-18公开/公告号CN102419517A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人哈尔滨工业大学申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨工业大学当前权利人哈尔滨工业大学
发明人谭久彬;马伟;崔继文;金国良
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域,该装置包括基台,位于预对准工位和曝光工位的工件台,在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元,通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台;另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联,Y向第四直线电机动子与第二工件台固联,Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨双驱结构;本发明在换台过程中采用三节拍,提高了换台效率,同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小,稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。

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