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一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010120385.0
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67
申请日期：
2020-02-26
申请人：
南京和洪智能设备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置
申请号	CN202010120385.0	申请日期	2020-02-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112786735A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	南京和洪智能设备有限公司	申请人地址	江苏省南京市六合区晓山路609号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京和洪智能设备有限公司	当前权利人	南京和洪智能设备有限公司
发明人	岳丁杰;张巧华
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，包括工艺槽，其内盛装化学溶液；带液滚轮，并排安装于所述工艺槽；槽板花篮，置于所述带液滚轮的顶部；硅片，并排插入该槽板花篮。本发明具有能有效增大太阳能电池片的有效面积，以及提高太阳能电池的平均效率等特点。

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