一种用于宽束离子注入机的引出电极系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201110241161.6
IPC分类号：H01J37/32;H01J37/04
申请日期：
2011-08-22
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于宽束离子注入机的引出电极系统
申请号	CN201110241161.6	申请日期	2011-08-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-06	公开/公告号	CN102956429A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;J;3;7;/;0;4查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街六号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	邓颖辉;彭立波;林萍
代理机构	长沙正奇专利事务所有限责任公司	代理人	马强

摘要

本发明提供一种用于宽带束离子注入机的引出电极系统，包括：Y1方向运动机构(1)，移动支架(2)，安装法兰(3)，引出电极(4)，抑制电极(5)，Y2方向运动机构(6)，Z1方向运动机构(7)，Z2方向运动机构(8)，用于连接抑制电极(5)和引出电极(4)的连接柱(9)。其中Y1方向运动机构(1)用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Y1方向上的运动，Y2方向运动机构(6)用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Y2方向上的运动。Z1方向运动机构(7)和Z2方向运动机构(8)分别用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Z1方向上和Z2方向上的运动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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