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晶粒筛盘

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320597033.X
IPC分类号：H01L21/67;B07B1/28;B07B1/46
申请日期：
2013-09-26
申请人：
如皋市易达电子有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	晶粒筛盘
申请号	CN201320597033.X	申请日期	2013-09-26
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;7;B;1;/;2;8;;;B;0;7;B;1;/;4;6查看分类表>
申请人	如皋市易达电子有限责任公司	申请人地址	江苏省南通市如皋市搬经镇群岸村7组变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	如皋市易达电子有限责任公司	当前权利人	如皋市易达电子有限责任公司
发明人	黄建山;陈建华;张练佳;梅余峰
代理机构	北京汇信合知识产权代理有限公司	代理人	孙民兴;王维新

摘要

本实用新型公开了微电子领域的一种可以区分GPP芯片的晶粒筛盘。由筛盘框和筛盘组成，筛盘位于筛盘框上面，其特征在于：筛盘有纵横整齐排列的筛选孔，筛选孔直径与所筛晶片的N面相同，筛选孔底部有排气孔，筛盘框为密闭空腔，排气孔与筛盘框密闭空腔相通；所述的筛盘框侧面有吸气孔，吸气孔与真空泵相连。本实用新型具有区分极性成功率高、操作方便和效率高等优点。

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