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一种智能气体压力传感器及其零点校准方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811163129.9
  • IPC分类号:G01L19/02;G01L27/00
  • 申请日期:
    2018-09-30
  • 申请人:
    深圳电通纬创微电子股份有限公司
著录项信息
专利名称一种智能气体压力传感器及其零点校准方法
申请号CN201811163129.9申请日期2018-09-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-01-29公开/公告号CN109282938A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L19/02IPC分类号G;0;1;L;1;9;/;0;2;;;G;0;1;L;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人深圳电通纬创微电子股份有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区平湖街道力昌社区平龙东路349号2#厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳电通纬创微电子股份有限公司当前权利人深圳电通纬创微电子股份有限公司
发明人方果;杨格;王海峰;毛伯付;高仁杰;尹定红
代理机构深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司代理人吴雅丽
摘要
本发明涉及一种智能气体压力传感器及其零点校准方法,压力传感器包括电路板、传感器膜片、压力检测气路和通气气路,所述传感器膜片设置在电路板上,所述通气气路和压力检测气路分别作用于传感器膜片的正背二面,所述压力检测气路上设有三通阀,靠近压力检测气路进气端的为三通阀的第一端,远离压力检测气路进气端的为三通阀的第二端,三通阀的第三端与通气气路连接,所述三通阀与电路板电连接,具有二个工作状态,一是关闭三通阀的第一端,并使第二端与第三端连通,二是关闭三通阀的第三端,并使第一端与第二端连通。本发明增加了三通阀,实现了气体压力传感器自动校零,从而避免零点误差累计,解决气体压力传感器零点漂移的问题。

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