用于防止光学检查中错误检测的系统和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03122580.2
IPC分类号：G01N21/84;G01N21/86;G01N21/88
申请日期：
2003-04-21
申请人：
崔铉镐

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著录项信息

专利名称	用于防止光学检查中错误检测的系统和方法
申请号	CN03122580.2	申请日期	2003-04-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-02-04	公开/公告号	CN1472528
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/84 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;4;;;G;0;1;N;2;1;/;8;6;;;G;0;1;N;2;1;/;8;8查看分类表>
申请人	崔铉镐	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	崔铉镐	当前权利人	崔铉镐
发明人	崔铉镐;柳根洪;炳铉任
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	刘莉婕;林月俊

摘要

本发明在此公开了一种用于防止光学检查中错误检测的系统和方法，防止由落在基底图案引线上或引线间的杂质、灰尘等等引起的错误检测，基底是用在制造各种半导体集成电路(ICs)中的主要部件部分。该方法包括如下步骤，如果在图案的透射光图像中检测到可疑短路部分和/或可疑突起，通过将图案的透射光图像与图案的参考图像进行比较，以及通过检查反射光图像中具有图案引线间可疑短路部分和/或图案引线可疑突起的可疑部分，来确定图案是否有缺陷。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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