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用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110375138.6
IPC分类号：H01J37/20;H01J9/00
申请日期：
2011-11-23
申请人：
北京新兴百瑞技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网及其制作方法
申请号	CN201110375138.6	申请日期	2011-11-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-05	公开/公告号	CN103137404A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/20 物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;J;9;/;0;0查看分类表>
申请人	北京新兴百瑞技术有限公司	申请人地址	北京市海淀区中关村北二条13号2号楼015室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京新兴百瑞技术有限公司	当前权利人	北京新兴百瑞技术有限公司
发明人	张继明;田连建
代理机构	北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司	代理人	付晓青;杨玉荣

摘要

本发明提供了一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网，所述钼箔网的厚度为0.01mm～0.05mm，网孔的孔数为1目～600目。本发明制作该钼箔网的方法包括绘图、钼箔处理、光刻胶、前烘烤、曝光、显影、漂洗、后烘烤、刻蚀和去胶。通过本发明的制作方法得到的电子显微镜钼箔网的网孔清晰、孔壁极为光滑。

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