一种二维位移工作台

发明专利无效专利

申请号：
CN02138704.4
IPC分类号：--
申请日期：
2002-06-21
申请人：
华中科技大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种二维位移工作台
申请号	CN02138704.4	申请日期	2002-06-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-12-25	公开/公告号	CN1387021
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	华中科技大学	申请人地址	湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华中科技大学	当前权利人	华中科技大学
发明人	王选择;郭军;曾文涵;谢铁邦
代理机构	华中科技大学专利中心	代理人	方放

摘要

本发明公开了一种二维位移工作台，由粗定位工作台(2)和细定位工作台(1)组成，细定位工作台的基座固定在粗定位工作台上。粗定位工作台由电机(11)、(12)驱动，细定位工作台由压电微位移器(18)、(19)驱动。在整个工作台的移动过程中，两个方向的位移量由正交衍射光栅尺(5)给出。工作台的特点是①采用闭环系统，工作台的定位速度快，采用粗定位和细定位相结合的方法，定位精度高。②工作台X、Y向移动均贴着一公共平面基准运动，使用工作台进行加工与测量时，具有确定的平面基准。③采用平面正交衍射光栅作为计量标准器，可显著减少阿贝尔误差，工作范围大，且较容易获得超精密级的分辨率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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