加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种二维位移工作台

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02138704.4
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2002-06-21
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种二维位移工作台
申请号CN02138704.4申请日期2002-06-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2002-12-25公开/公告号CN1387021
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人王选择;郭军;曾文涵;谢铁邦
代理机构华中科技大学专利中心代理人方放
摘要
本发明公开了一种二维位移工作台,由粗定位工作台(2)和细定位工作台(1)组成,细定位工作台的基座固定在粗定位工作台上。粗定位工作台由电机(11)、(12)驱动,细定位工作台由压电微位移器(18)、(19)驱动。在整个工作台的移动过程中,两个方向的位移量由正交衍射光栅尺(5)给出。工作台的特点是①采用闭环系统,工作台的定位速度快,采用粗定位和细定位相结合的方法,定位精度高。②工作台X、Y向移动均贴着一公共平面基准运动,使用工作台进行加工与测量时,具有确定的平面基准。③采用平面正交衍射光栅作为计量标准器,可显著减少阿贝尔误差,工作范围大,且较容易获得超精密级的分辨率。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供