基于原子迁移定向调控的金属表面微结构制造方法与装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810818463.7
IPC分类号：B23H1/00;B23H9/00;B23H11/00
申请日期：
2018-07-24
申请人：
杭州电子科技大学

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著录项信息

专利名称	基于原子迁移定向调控的金属表面微结构制造方法与装置
申请号	CN201810818463.7	申请日期	2018-07-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-04	公开/公告号	CN109128403A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23H1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23H 用电极代替刀具，以电流高度集中的作用在工件上的金属加工；这种加工与其他方式的金属加工的组合（电铸、涂层的电解或电泳生产工艺或其所用的设备入C25D；电解去除加工件材料的工艺入C25F；把沉淀技术用于导电材料形成所要求的电路来制造印刷线路入H05K 3/18）〔4〕 B23H1/00 放电加工，即在液体电介质中，采用在电极和工件之间一连串迅速重复放电的方法移去金属〔4〕	IPC分类号	B;2;3;H;1;/;0;0;;;B;2;3;H;9;/;0;0;;;B;2;3;H;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	杭州电子科技大学	申请人地址	浙江省杭州市下沙高教园区2号大街变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州电子科技大学	当前权利人	杭州电子科技大学
发明人	倪敬;吕俊杰;蒙臻
代理机构	杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	黄前泽

摘要

本发明公开了基于原子迁移定向调控的金属表面微结构制造方法与装置。目前还没有利用原子迁移定向调控原理进行金属表面微结构制造的方法与装置。本发明通过脉冲电源对模板金属块和待加工金属块通电激发表面原子迁移，实现微结构的定向调控和位置重组；通过调节滑台对模板金属和待加工金属表面间距进行调控；通过高速摄像机与图像处理主机实现对微凸结构的检测；本发明是一种集微凸结构设计、表面微凸结构形核和生长过程外部环境调控的金属表面微凸结构制造装置，制造方法简便，使用环境安全，适用性较广。

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