基于空气弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台

发明专利无效专利

申请号：
CN201210571738.4
IPC分类号：F16F15/02;G02B27/10
申请日期：
2012-12-19
申请人：
哈尔滨工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基于空气弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台
申请号	CN201210571738.4	申请日期	2012-12-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-15	公开/公告号	CN103104653A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16F15/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16F 弹簧；减震器；减振装置 F16F15/00 系统中振动的抑制（汽车座悬挂设备入B60N 2/50）；避免或减少不平衡力的装置或配置，如由于运动产生的不平衡力（检验静或动平衡的机器或结构入G01M 1/00） F16F15/02 非旋转系统振动的抑制，如往复系统；通过利用不与旋转系统一起运动的元件抑制旋转系统的振动（层状产品入B32B；船舶振动的抑制入B63）	IPC分类号	F;1;6;F;1;5;/;0;2;;;G;0;2;B;2;7;/;1;0查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	赵勃;谭久彬;王雷
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

基于空气弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由空气弹簧式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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