一种高纯度三氯氧磷储运装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020157676.9
IPC分类号：C01B25/10;B65D85/82
申请日期：
2010-04-06
申请人：
向东

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著录项信息

专利名称	一种高纯度三氯氧磷储运装置
申请号	CN201020157676.9	申请日期	2010-04-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B25/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B25/00 磷；其化合物（C01B 21/00、C01B 23/00优先；过磷酸盐入C01B 15/16）〔3〕 C01B25/10 磷的卤化物或卤氧化物〔2〕	IPC分类号	C;0;1;B;2;5;/;1;0;;;B;6;5;D;8;5;/;8;2查看分类表>
申请人	向东	申请人地址	贵州省贵阳市云岩区省府路39号3栋4楼4号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	向东	当前权利人	向东
发明人	向东;舒骁骥;姜盛君
代理机构	徐州市淮海专利事务所	代理人	胡亚辉

摘要

一种高纯度三氯氧磷储运装置，高纯三氯氧磷容器连接多端口液体分布器，多端口液体分布器连接蠕动泵，蠕动泵连接外包半导体冷阱的石英鼓泡器，石英鼓泡器连接磷扩散器高纯三氯氧磷容器上有气体入口阀，石英鼓泡器上有高纯氮气进气阀。该装置运输方便，牢固结实不易碎，使用方便、安全，节约了物流成本；该装置均采用PFA或其他耐腐蚀高纯度塑料或高纯石英等非金属材料，可完全避免金属杂质对物料的污染，保证物料的纯度；采用了蠕动泵精确控制，使鼓泡器出料浓度稳定，可使使用厂家在扩散工艺过程中达到最佳扩散目的，保证产品质量；该装置结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、使用成本低、维护成本低，深受高纯三氯氧磷使用厂家欢迎。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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