光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪

发明专利无效专利

申请号：
CN200910103328.5
IPC分类号：G01C19/56;G01B11/02
申请日期：
2009-03-06
申请人：
重庆大学

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著录项信息

专利名称	光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪
申请号	CN200910103328.5	申请日期	2009-03-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-08-19	公开/公告号	CN101509772
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/56 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	重庆大学	申请人地址	重庆市沙坪坝区沙正街174号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重庆大学	当前权利人	重庆大学
发明人	任春华;潘英俊;魏彪;熊凝香
代理机构	重庆博凯知识产权代理有限公司	代理人	李海华

摘要

本发明涉及一种光学位相检测的高精度硅微机电陀螺仪，光源的尾纤与光电探测器的入纤分别和Y型光耦合器的一根光纤熔接，在振梁上做微镜用于反射经Y型光耦合器尾纤的透射光，光电探测器探测微镜上的反射光与Y型光耦合器尾纤端面的反射光在经Y型光耦合器汇合形成的干涉条纹，光电探测器与检测与控制系统连接。本发明采用光学干涉原理，用光学位相测量方法来测量振动质量块的微小位移，从而提高了陀螺的检测灵敏度和读出精度，具有体积小、重量轻、高分辨率、低漂移、响应时间快和高的读出精度的特点，提高了陀螺的动态响应范围和检测精度，同时有利于进行数字滤波与信号传输处理，提高了系统抗干扰能力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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