补偿套刻数据的方法和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201710783414.X
IPC分类号：G06F17/50;G06F17/18
申请日期：
2017-09-04
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

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著录项信息

专利名称	补偿套刻数据的方法和系统
申请号	CN201710783414.X	申请日期	2017-09-04
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2019-03-05	公开/公告号	CN109426692A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F17/50 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F17/00 特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法〔6〕 G06F17/50 计算机辅助设计（静态存储的测试电路的设计入G11C 29/54）〔6，8〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;7;/;5;0;;;G;0;6;F;1;7;/;1;8查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
发明人	郭凌伊;林益世
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李浩

摘要

本发明公开了一种补偿套刻数据的方法和系统。该方法包括：获得中间目标层与下部目标层的套刻标记之间的第一偏移矢量和中间目标层与上部目标层的套刻标记之间的第二偏移矢量；将第一偏移矢量分解为第一可补偿分量和第一不可补偿分量，将第二偏移矢量分解为第二可补偿分量和第二不可补偿分量；执行最小化处理以得到第一不可补偿分量的最小值和第二不可补偿分量的最小值；由第一偏移矢量和第一不可补偿分量的最小值得到优化的第一可补偿分量，由第二偏移矢量和第二不可补偿分量的最小值得到优化的第二可补偿分量；根据优化的第一可补偿分量和优化的第二可补偿分量得到下部目标层与上部目标层的套刻标记之间的第三偏移矢量的第三可补偿分量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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