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接触垫结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610283308.0
  • IPC分类号:H01L23/488
  • 申请日期:
    2016-04-29
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称接触垫结构
申请号CN201610283308.0申请日期2016-04-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-11-07公开/公告号CN107331653A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/488IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;8;8查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人林志曜
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人任岩
摘要
本发明提供了一种接触垫结构,包括交替堆叠的N层(N≥6)绝缘层及N层导电层,且具有排成二维阵列的N个区域露出各导电层。当这些导电层由下至上编号为第1至第N导电层时,同行的区域中露出的导电层的编号Ln朝一列方向递减,相邻两行的区域之间的Ln值差异固定,同列的区域中Ln由两端向中央渐减,且相邻两列的区域之间的Ln值差异固定。

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