切割装置及硅棒加工设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022455411.3
IPC分类号：B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
申请日期：
2020-10-29
申请人：
天通日进精密技术有限公司

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著录项信息

专利名称	切割装置及硅棒加工设备
申请号	CN202022455411.3	申请日期	2020-10-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/04 用非旋转式工具的，例如往复式工具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;0;;;B;2;8;D;7;/;0;4查看分类表>
申请人	天通日进精密技术有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天通日进精密技术有限公司	当前权利人	天通日进精密技术有限公司
发明人	苏静洪;卢建伟;钱春军;曹奇峰;李鑫
代理机构	上海巅石知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张明;王再朝

摘要

本申请公开一种切割装置及硅棒加工设备；所述切割装置具有至少一线切割单元，所述线切割单元中通过确定切割轮及过渡轮的布设方式，令切割线以首尾相接的方式绕于切割轮及过渡轮之间，线切割单元由此形成可用于对硅棒开工切割的切割容纳空间，所述切割装置的整体结构可被化简，有益于减小装置成本；同时，环形切割线在被运行以执行切割的过程中可避免切割线的加速、减速过程对切割精度造成影响，使得切割精度提高，有益于简化后续工序。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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