等离子氢化四氯化硅制备三氯氢硅的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910058254.8
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2009-01-21
申请人：
东方电气集团东方汽轮机有限公司

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专利名称	等离子氢化四氯化硅制备三氯氢硅的方法
申请号	CN200910058254.8	申请日期	2009-01-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-07-08	公开/公告号	CN101475175
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	东方电气集团东方汽轮机有限公司	申请人地址	四川省德阳市汉旺镇变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东方电气集团东方汽轮机有限公司	当前权利人	东方电气集团东方汽轮机有限公司
发明人	禹争光;胡蕴成
代理机构	成都蓉信三星专利事务所	代理人	刘克勤

摘要

本发明公开一种等离子氢化四氯化硅生产三氯氢硅的方法，其特点是通过高频线圈感应产生含氢等离子来处理加入等离子区中的气态四氯化硅原料，二种原料均以等离子态参与反应，四氯化硅被氢化为三氯氢硅。在高频线圈感应等离子反应器中，气路分成轴中心气、中心主气和保护气三路，含氢气体经等离子起弧后，形成含氢等离子火焰区，气化后的四氯化硅通过轴中心加入，通过高温氢等离子火焰区反应转化成三氯氢硅，反应后的混合气体通过热交换、压缩、冷却和蒸馏工序后，分别获得三氯氢硅和四氯化硅液体，以及氯化氢、氢气和氩气。其中四氯化硅、循环氢气和氩气本反应器，而三氯氢硅和氯化氢则进入多晶硅生产工序。本发明可以简洁、高效和环保处理多晶硅副产物四氯化硅，同时获得多晶硅所需原料，极大减少废弃物产出和降低多晶硅生产成本。

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