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半导体器件、测试装置、以及测试方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580045992.9
  • IPC分类号:G01R31/317;H01L27/04
  • 申请日期:
    2005-11-24
  • 申请人:
    爱德万测试株式会社
著录项信息
专利名称半导体器件、测试装置、以及测试方法
申请号CN200580045992.9申请日期2005-11-24
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2008-01-02公开/公告号CN101099087
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R31/317IPC分类号G;0;1;R;3;1;/;3;1;7;;;H;0;1;L;2;7;/;0;4查看分类表>
申请人爱德万测试株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱德万测试株式会社当前权利人爱德万测试株式会社
发明人山崎真;松村英宜
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司代理人寿宁
摘要
本发明提供一种半导体器件,是测试设置在内部的被测配线的延迟时间的半导体器件。此半导体器件包括:循环路径,在路径上设置了被测配线;延迟元件,让输入信号只延迟规定时间;延迟选择部,用于切换是否在循环路径上连接延迟元件;循环延迟测试部,用于测量循环路径延迟时间;第1门延迟计算部,其从在循环路径上连接了延迟元件时的循环路径延迟时间,减去在循环路径上未连接延迟元件时的循环路径延迟时间,而计算出延迟元件的延迟时间;第2门延迟计算部,其基于延迟元件的延迟时间,而计算出在循环路径上连接的逻辑电路的延迟时间;以及,配线延迟计算部,用于计算被测配线的延迟时间。

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