球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410016063.6
IPC分类号：G01M11/02
申请日期：
2014-01-14
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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著录项信息

专利名称	球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法
申请号	CN201410016063.6	申请日期	2014-01-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-02	公开/公告号	CN103698108A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	马冬梅;张海涛;孙鸽;于杰
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所	代理人	南小平

摘要

球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法，属于光学测试领域，为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数的测试问题，该测试装置及方法：安装干涉仪球面测试基准镜头在干涉仪主机上；打开移相式干涉仪主机和配套计算机电源开关；在干涉仪球面测试基准镜头的球心后面45°放置高度传递函数测试基准板使光路折转，在其后放置高精度球面反射镜，使其球心与干涉仪球面测试基准镜头的球心重合；在干涉仪主机上可获得高度传递函数测试基准板的图像，通过干涉仪主机测试采集相移图像将得到高度传递函数测试基准板的面形测试图，测试基准板的高度测试结果hi；基准板相应频域的高度值h0，则干涉仪高度测试传递函数值H=hi/h0。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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