一种三氯氢硅精馏工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN201010576949.8
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2010-12-07
申请人：
乐山永祥硅业有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种三氯氢硅精馏工艺
申请号	CN201010576949.8	申请日期	2010-12-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-05-25	公开/公告号	CN102070147A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	乐山永祥硅业有限公司	申请人地址	四川省乐山市五通桥区竹根镇新华村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	乐山永祥硅业有限公司	当前权利人	乐山永祥硅业有限公司
发明人	梁进
代理机构	成都天嘉专利事务所（普通合伙）	代理人	方强

摘要

本发明涉及一种三氯氢硅精馏工艺，本发明是将三氯氢硅料液依次经过两个筛板精馏塔和两个填料精馏塔，进行精馏操作最后得到高纯度的三氯氢硅产品，在精馏的同时也能得到四氯化硅产品。本发明筛板精馏塔和填料精馏塔顺序的设计，以及回流比参数的设定，能提高以前工艺流程不能除去的微量杂质的去除能力，在除硼和除碳能力上有显著提高，分离效果更好，达到多晶硅厂家的要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供