一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510141832.X
IPC分类号：G02B5/08;G02B1/10
申请日期：
2015-03-27
申请人：
中国科学院国家授时中心

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著录项信息

专利名称	一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法
申请号	CN201510141832.X	申请日期	2015-03-27
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2015-06-10	公开/公告号	CN104698519A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/08 反射镜	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;0;8;;;G;0;2;B;1;/;1;0查看分类表>
申请人	中国科学院国家授时中心	申请人地址	陕西省西安市临潼区书院东路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院国家授时中心	当前权利人	中国科学院国家授时中心
发明人	刘涛;许冠军;董瑞芳;张首刚
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	徐文权

摘要

本发明公开了一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法，该低热噪声高反射光学复合膜结构以超低膨胀光学材料为基底；在基底上镀膜，所述膜由蓝宝石膜层和金刚石膜层交替组成多层膜系，蓝宝石膜层和金刚石膜层之间通过键合或光胶方式结合而成。本发明以蓝宝石和金刚石材料为镀膜层，利用这两种材料具有极低的机械损耗因子，可以大大降低镀膜材料的布朗热噪声，同时蓝宝石和金刚石这两种材料的折射率差距较大，可以形成高低膜层，实现较高的反射率。本发明设计的复合膜可以应用于光学参考腔、光学干涉仪、超窄线宽激光器、光学原子钟、引力波探测等高科技领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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