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静电吸盘

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510105529.4
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2015-03-11
  • 申请人:
    TOTO株式会社
著录项信息
专利名称静电吸盘
申请号CN201510105529.4申请日期2015-03-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-09-30公开/公告号CN104952779A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人TOTO株式会社申请人地址
日本福冈县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人TOTO株式会社当前权利人TOTO株式会社
发明人山口康介;穴田和辉;古贺达也;松井宏树
代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司代理人周善来;王玉玲
摘要
本发明提供一种静电吸盘,其能够降低等离子对粘接剂的损伤。具体而言,其特征为,具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、第1主面相反侧的第2主面、从第2主面设置到第1主面的穿通孔;金属制基座板,支撑陶瓷电介体基板且具有与穿通孔连通的气体导入路;及接合层,设置在陶瓷电介体基板与基座板之间且包含树脂材料,接合层具有设置在第2主面上的穿通孔的开口部与气体导入路之间的与开口部相比水平方向上更大的空间,空间侧的接合层的端面与第2主面相交的第1区域比不同于第1区域的端面的另外的第2区域还要从开口部后退。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供