一种多瓣石墨坩埚

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921092566.6
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/06
申请日期：
2019-07-12
申请人：
上海东洋炭素有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种多瓣石墨坩埚
申请号	CN201921092566.6	申请日期	2019-07-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	上海东洋炭素有限公司	申请人地址	上海市松江区新飞路486号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海东洋炭素有限公司	当前权利人	上海东洋炭素有限公司
发明人	小仓浩昭;黄建明;朱林杰;詹国彬
代理机构	北京知呱呱知识产权代理有限公司	代理人	苏利

摘要

本实用新型实施例公开了一种多瓣石墨坩埚，包括多块相同的瓣体，多块所述瓣体两两相连构成埚体，并且相邻的两块瓣体之间形成有接缝，所述石墨坩埚的接缝处嵌入有保护垫，所述保护垫设置在石墨坩埚底部边缘的圆角处。本实用新型实施例通过在石墨坩埚的接缝内，位于底部上容易发生断裂的圆角处嵌入保护垫片，使得石墨坩埚在高温工作时原本会经过整个接缝处的气体被阻挡在保护垫片上，从而让坩埚在使用后不会整个接缝边缘都发生氧化(仅保护垫片内侧会有氧化现象)，从而在保证热场能够正常运作的基础上，有效解决石墨坩埚在高温下与硅蒸气、氧化硅气体等发生氧化反应使得外石墨坩埚的接缝边缘部位损耗严重，影响坩埚的使用寿命的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供