X-Y-Z三自由度串联式纳米级微定位工作台

发明专利无效专利

申请号：
CN200810038553.0
IPC分类号：G12B5/00;G12B9/08
申请日期：
2008-06-05
申请人：
上海交通大学

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专利名称	X-Y-Z三自由度串联式纳米级微定位工作台
申请号	CN200810038553.0	申请日期	2008-06-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-10-15	公开/公告号	CN101286369
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G12B5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G2 核子学 G12 仪器的零部件 G12B 仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件 G12B5/00 仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的	IPC分类号	G;1;2;B;5;/;0;0;;;G;1;2;B;9;/;0;8查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市徐汇区龙华中路596号A座1607室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海青客时尚生活服务股份有限公司	当前权利人	上海青客时尚生活服务股份有限公司
发明人	刘品宽;龙旦风;徐博强;冯恺恺
代理机构	上海交达专利事务所	代理人	王锡麟;王桂忠

摘要

一种X-Y-Z三自由度串联式纳米级微定位工作台，包括：基座、运动平台、X向位移放大器、Y向位移放大器、Z向位移放大器，所述基座、Z向位移放大器、Y向位移放大器、X向位移放大器、动平台依次连接，形成串联结构，各个自由度之间分别控制位移，其中X向位移放大器和Y向位移放大器结构相同。本发明结构紧凑，输出行程范围大，运动平台上的一点可以到达行程范围内的任意一点，可运用于各种有严格的空间限制，较大的位移需求的场合。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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