蓝宝石单晶炉的水冷电极

发明专利有效专利

申请号：
CN201310663183.0
IPC分类号：C30B29/20
申请日期：
2013-12-10
申请人：
南京晶升能源设备有限公司

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著录项信息

专利名称	蓝宝石单晶炉的水冷电极
申请号	CN201310663183.0	申请日期	2013-12-10
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103668454A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/20 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/16 氧化物〔3〕 C30B29/20 铝的氧化物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;2;0查看分类表>
申请人	南京晶升能源设备有限公司	申请人地址	江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京晶升装备股份有限公司	当前权利人	南京晶升装备股份有限公司
发明人	李辉;姜宏伟;张洪涛;张小潞;吴春生
代理机构	江苏圣典律师事务所	代理人	孙忠浩

摘要

本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的水冷电极，包括电极主体，电极主体一端设有水冷沉孔，并配有循环水接头，循环水接头包括本体、内水管和外水道以及分别与内水管和外水道沟通的两个水管接口，本体与电极主体水冷沉孔通过匹配的螺纹密封连接；电极主体的另一端设有V型锁紧槽，V型锁紧槽配有电极锁紧块，电极锁紧块在螺栓和螺母驱动下，由V型锁紧槽的沿口向槽底滑行；电极主体通过四个固定螺栓与蓝宝石单晶炉体连接，它们的结合面上配有绝缘垫片和O型密封圈，该绝缘垫片的端面外缘作为O型密封圈的支撑点，固定螺栓与电极主体之间也配有绝缘垫片；电极主体端面与循环水接头的连接处配有密封圈；加热器的电极爪通过电极锁紧块锁紧。

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