一种EMI屏蔽膜磁控卷绕镀膜机

发明专利无效专利

申请号：
CN201610451005.5
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/35;C23C14/54
申请日期：
2016-06-20
申请人：
广东振华科技股份有限公司

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专利名称	一种EMI屏蔽膜磁控卷绕镀膜机
申请号	CN201610451005.5	申请日期	2016-06-20
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-10-12	公开/公告号	CN106011773A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	广东振华科技股份有限公司	申请人地址	广东省肇庆市端州区肇庆大道南侧（8）区厂区北面1卡车间变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东振华科技股份有限公司	当前权利人	广东振华科技股份有限公司
发明人	潘振强;梁凯基
代理机构	广州新诺专利商标事务所有限公司	代理人	曹爱红

摘要

本发明属于镀膜设备技术领域，具体公开EMI屏蔽膜磁控卷绕镀膜机，包括真空室体、门体及靶室，所述真空室体内设有卷绕辊系，所述靶室内设有平面磁控靶系统，所述低温镀膜辊部分地置于靶室内，所述平面磁控靶系统包括若干靶工作区间，至少有一靶工作区间内设有若干对平面磁控靶，相邻的靶工作区间通过分隔板进行分隔，且各平面磁控靶围绕低温镀膜辊排布且与低温镀膜辊表面等距离设置。该镀膜机可以实现一次走膜，多靶同时工作，能极大地提高总体沉积速率，还可以满足一次镀制多种材料多层膜的需求，此外，还可以达到较低温度，有效排走热量，确保被镀膜的柔性基材不会受热变形。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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