一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320577197.6
IPC分类号：F27D1/18;C23C16/00
申请日期：
2013-09-17
申请人：
北京思捷爱普半导体设备有限公司

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专利名称	一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构
申请号	CN201320577197.6	申请日期	2013-09-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27D1/18 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27D 一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27D1/00 外壳；衬炉；壁；炉顶（耐火材料入C04B；燃烧室的火桥入F23M 3/00） F27D1/18 门框；门、盖、活动盖板	IPC分类号	F;2;7;D;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;6;/;0;0查看分类表>
申请人	北京思捷爱普半导体设备有限公司	申请人地址	江苏省苏州高新区建林路666号出口加工区配套工业园28号厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	新磊半导体科技（苏州）有限公司	当前权利人	新磊半导体科技（苏州）有限公司
发明人	樊志滨;陈依新;王勇飞
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	刘萍

摘要

一种对反应炉炉盖进行升降和翻转的机构属于半导体外延生长设备领域。它包括升降气缸、安装在机罩内部的伺服电机、蜗轮蜗杆减速机，安装在机罩外部的磁流体，旋转轴通过联轴器与炉盖相连接。本技术方案中，升降气缸安装在炉体旁，气缸活塞杆上端连接机罩，通过气缸活塞杆的升降，对机罩、伺服电机、蜗轮蜗杆减速机连同炉盖进行同时升降，并在伺服电机带动下，通过蜗轮蜗杆减速机，将炉盖进行翻转。此设计使炉盖能上下升降，并绕其纵向轴做翻转，解决了因炉盖不能翻转，衬底片倒置在炉盖上的反应炉取片、放片工作不方便、衬底易掉落损害的问题；同样，此设计解决石英板更换产生的风险，提高了生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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