一种芯片静电损伤的定位方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202010114630.7
IPC分类号：G01R31/28
申请日期：
2020-02-24
申请人：
珠海格力电器股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种芯片静电损伤的定位方法及装置
申请号	CN202010114630.7	申请日期	2020-02-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-05	公开/公告号	CN111239590A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	珠海格力电器股份有限公司	申请人地址	广东省珠海市前山金鸡西路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	珠海格力电器股份有限公司	当前权利人	珠海格力电器股份有限公司
发明人	肖彪;张家华;符超;曹竟元;林思岚
代理机构	北京煦润律师事务所	代理人	朱清娟;梁永芳

摘要

本发明公开了一种芯片静电损伤的定位方法及装置，该方法包括：对于芯片的失效样品，采用锁相缺陷定位热发射显微镜对失效样品中的缺陷位置进行定位评估，以得到失效样品的初始失效点；调节锁相缺陷定位热发射显微镜的定位参数后，再次采用锁相缺陷定位热发射显微镜对失效样品中的缺陷位置进行定位评估，以得到失效样品的新增失效点；采用扫描电子显微镜，对初始失效点和新增失效点的特征信息进行分析，以将初始失效点和新增失效点中特征信息与设定的静电损伤信息相同的部分失效点，确定为样品的静电损伤点。本发明的方案，可以解决芯片损伤位置的定位难度较大影响芯片的可靠性的问题，达到减小芯片损伤位置的定位难度以提升芯片的可靠性的效果。

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