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一种用于晶圆夹取的镊子

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921091098.0
  • IPC分类号:B25B9/02
  • 申请日期:
    2019-07-12
  • 申请人:
    苏州长瑞光电有限公司
著录项信息
专利名称一种用于晶圆夹取的镊子
申请号CN201921091098.0申请日期2019-07-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25B9/02IPC分类号B;2;5;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人苏州长瑞光电有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州长瑞光电有限公司当前权利人苏州长瑞光电有限公司
发明人陆嘉鑫;李阳
代理机构北京德崇智捷知识产权代理有限公司代理人杨楠
摘要
本实用新型公开了一种用于晶圆夹取的镊子,包括尾部相互连接的两个镊片,至少一个镊片的外表面上设置有一处视觉标记,所述视觉标记用于标记距其所在镊片端部预设长度的位置,所述预设长度等于所述晶圆边缘无效区的宽度。本实用新型依据所要夹取晶圆无效区的尺寸对镊子进行改造,在镊片表面设置对应于晶圆安全夹入距离的视觉标记,从而使得夹取晶圆操作过程中,使得夹取部位既完全位于晶圆无效区内,又不至于过度靠近晶圆边缘以致影响晶圆夹取转移操作的安全性。

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