摆臂式三维轮廓仪

发明专利无效专利

申请号：
CN201010266710.0
IPC分类号：G01B5/20;G01B5/28
申请日期：
2010-08-24
申请人：
中国科学院光电技术研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	摆臂式三维轮廓仪
申请号	CN201010266710.0	申请日期	2010-08-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-01-05	公开/公告号	CN101936699A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B5/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B5/00 以采用机械方法为特征的计量设备（包括在大组G01B 3/00中的各式量具本身入G01B 3/00）〔2〕 G01B5/20 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;5;/;2;0;;;G;0;1;B;5;/;2;8查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	景洪伟;吴时彬;林昭珩
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	梁爱荣

摘要

本发明涉及一种摆臂式三维轮廓仪，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。本发明的检测仪可用于大口径、高精度平面元件三维表面轮廓的测量和分析，可测量的参数有三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS、三维形貌体积。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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