一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110433878.4
IPC分类号：C30B15/02;C30B29/06
申请日期：
2021-04-20
申请人：
上海新昇半导体科技有限公司

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专利名称	一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法
申请号	CN202110433878.4	申请日期	2021-04-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-13	公开/公告号	CN113249779A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/02 向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;2;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	上海新昇半导体科技有限公司	申请人地址	上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云水路1000号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海新昇半导体科技有限公司	当前权利人	上海新昇半导体科技有限公司
发明人	赵旭良
代理机构	北京磐华捷成知识产权代理有限公司	代理人	谢栒

摘要

本发明提供一种翻板阀、拉晶炉及加料方法和拉晶方法，翻板阀包括翻板、翻转轴和气盘，其中气盘位于翻板靠近拉晶炉坩埚的一面，气盘包括盘体、位于盘体上的气孔、气体管道以及支撑管道，支撑管道连接盘体和气体管道，盘体的面积小于翻板，气盘的盘体与翻板独立设置，用于通过盘体上的气孔从上向下通入气体，从而抑制氧化物上扬污染翻板。本发明通过增加气盘或气孔，产生由上而下的气体，用于保证化料过程中有正上方的气体抑制氧化物上扬，减少拉晶时因为氧化物的原因引起的品质缺陷，提高晶体质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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