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喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911125376.4
  • IPC分类号:G03F7/30;H01L21/687
  • 申请日期:
    2019-11-18
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置
申请号CN201911125376.4申请日期2019-11-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-18公开/公告号CN112817215A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/30IPC分类号G;0;3;F;7;/;3;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人曾俊华;许维政
代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)代理人孙佳胤;高翠花
摘要
本发明提供一种喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置,其包括:容纳槽,用于放置显影喷嘴装置;吹扫装置,包括气源、至少一出气口及连接所述气源与所述出气口的输气管路,所述出气口设置在所述容纳槽中,吹扫气体自所述气源沿所述输气管路传输,并自所述出气口吹出,所述吹扫气体能够作用于所述显影喷嘴装置的外表面,以将所述显影喷嘴装置外表面或喷嘴处的液滴去除。本发明的优点在于,喷嘴清扫装置能够去除显影喷嘴装置外表面及喷嘴尖端的残留液滴,避免该液滴显影喷嘴装置移动过程中滴落而影响晶圆的性能。

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