1152nm波长氦氖激光器纳米测尺

发明专利无效专利

申请号：
CN200910076308.3
IPC分类号：--
申请日期：
2009-01-09
申请人：
清华大学

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专利名称	1152nm波长氦氖激光器纳米测尺
申请号	CN200910076308.3	申请日期	2009-01-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-06-24	公开/公告号	CN101464139
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市-82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	张书练;赵正启
代理机构	北京众合诚成知识产权代理有限公司	代理人	朱琨

摘要

1152nm波长氦氖激光器纳米测尺，属于基于激光位移传感技术领域，其特征在于使用1152nm波长氦氖激光器替换原632.8nm波长氦氖激光器作为纳米测尺的核心，在保持10nm分辨率不变的条件下，使位移测量范围从50mm增加至100mm以上。1152nm波长氦氖激光器具有较高的增益，所以激光器内腔暴露在空气中时，仍能保持增益大于损耗，可实现增益管与靶镜相分离的非接触测量。采用猫眼逆向器作为靶镜与被测目标粘合，设计全外腔和半外腔两种结构，使系统具有较强的稳定性，从而成为一个稳定实用的位移传感器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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