集成真空微电子触觉传感器阵列

发明专利无效专利

申请号：
CN99124606.3
IPC分类号：--
申请日期：
1999-11-18
申请人：
重庆大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	集成真空微电子触觉传感器阵列
申请号	CN99124606.3	申请日期	1999-11-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2001-05-30	公开/公告号	CN1297145
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	重庆大学	申请人地址	重庆市沙坪坝重庆大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重庆大学	当前权利人	重庆大学
发明人	温志渝;江永清;何清义;吕果林;林鹏;蒋子平
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

集成真空微电子触觉传感器阵列,由真空微电子触觉敏感元二维阵列、信号处理电路两大部分组成。其中,构成触觉敏感元二维阵列的触觉敏感元由硅微场致发射阴极锥尖阵列、真空微腔、绝缘层、阳极弹性膜组成;信号处理电路由水平方向扫描电路、垂直方向扫描电路、MOS开关管阵列、信号输出端等组成。本发明具有温度稳定性好,灵敏度与分辨率高、响应速度快、功耗低、抗辐射、体积小等优点。它既可测量多点微压力与微位移,又可感知被测物体的相应形貌,是一种用途极为广泛的集成真空微电子触觉传感器阵列。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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